高真空存儲柜
高真空存儲柜
PZXT系列高真空存儲柜主要用于半導體器件工藝生產過程中存放成品、半成品、原材料及器具，是替代氮氣存儲柜的高端設備。
產品特點：
1、設備內含氧量、含水量低，極大的提升了產品良率；
2、設備內顆粒少，可以減少對產品的影響；
3、使用靈活方便，開啟/關閉某一個或幾個腔體，對整體沒有影響。
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設備型號 |
PZXT0602-N |
PZXT1100-N |
PZXT0212-N |
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外形尺寸（L×W×H）(mm) |
1400×1800×1850 |
1500×2000×1850 |
1200×1800×1850 |
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潔凈度 |
Clss100 |
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極限真空度（pa） |
1×10-5 |
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工作真空度（pa） |
8×10-3 |
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漏率(Pa·m3/s) |
2×10-9 |
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單個腔體尺寸（L×W×H）(mm) |
300×300×350（略稱DabbreviationD） |
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腔體數量（D/S） |
6/2 |
11/0 |
2/12 |
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